Гусейнов М.К., Билалов Б.А., Махмудов Р.Г., Исмаилов М.Э.
Способ получения нанопористого кремния
A method of getting nanoporous silicon
| УДК: |
621.315.592 |
| Аннотация: |
Разработан простой способ получения нанопористого кремния, не требующий использования специальных электрохимических ячеек и дорогостоящих платиновых электродов и миниатюрной установки для получения нанопористого кремния. |
Ключевые
слова: |
нанопористый кремний, электрохимическое травление, электрохимические ячейки |
| Abstracts: |
A simple method of getting nanoporous silicon, not requiring special electrochemical cells and expensive platinum electrodes and a miniature unit for the production of nanoporous silicon. |
| Keywords: |
nanoporous silicon, electrochemical etching, electrochemical cell |
Авторы статьи:
ГУСЕЙНОВ
Марат Керимханович
m_guseynov@mail.ru |
кандидат физико-математических наук, старший преподаватель кафедры физики ДГТУ |
БИЛАЛОВ
Билал Аругович
bil-bilal@yandex.ru |
доктор физико-математических наук, профессор кафедры микроэлектроники ДГТУ |
МАХМУДОВ
Руслан Гаджимагомедович |
аспирант ДГТУ |
ИСМАИЛОВ
Мехрали Эсвединович |
старший преподаватель Дербентского филиала ДГТУ |
Список литературы:
| 1. |
Зимин С.П. Пористый кремний материал с новыми свойствами // Соросовский образовательный журнал. Том 8, № 1, 2004г. |
| 2. |
Балагуров Л.А. Пористый кремний: получение, свойства, возможные применения // Материаловедение. 1998г., Вып.1. |
| 3. |
Кашкаров П.К. Необычные свойства пористого кремния // Соросовский образовательный журнал. 2001. № 1. С. 102-107. |
|
|
